Halbleiter
Kanigen Group ist bestrebt, seine peripheren Prozesse fortlaufend weiter zu entwickeln um den hohen Reinheitsanforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden. Heute sind wir qualifiziert durch ASML, Applied Materials ...
Unser Know-how ist von Systembauern für Halbleiter, 3D-Drucker, Rastermikroskope, Vakuumapplikatoren und deren Zulieferern anerkannt.
Korrosionsschutz
Antistatische Effekte
Amorphe Beschaffenheit
Reibungsreduzierung
Im Jahr 2002 entwickelte die Kanigen Group, unter Berücksichtigung der Reinheitsanforderungen der Branche, eine Chemisch-Nickel-Speziallinie für das Beschichten von großformatigen ASML-Maschinenteilen (stepper wafer machines) aus Stahl.
Diese Linie wurde 2019 um eine Vorbehandlungslinie für Aluminium und einen Grauraum für die Verpackung derartiger Teile erweitert.
Badabmessungen:
- Unlegierte Stähle: 3100 x 2200 x 2000 mm
- Aluminium: 2600 x 2050 x 1000 mm
- NiPef und Chemisch Schwarznickel: 600 x 600 x 1500 mm
Kanigen Works BeNeLux verfügt über einen reinraumtauglichen Grauraum um Teile für den Halbleiterbereich zu verpacken.
Aufgrund seiner Ausstattung erfüllt er maximal die ASML-Vorgaben:
- GSA 07 4320 – Grad 4 – Oberflächenreinheit
- GSA 07 0011 – Durchstrahlungsprüfung
- GSA 07 0012 – UV-A Schwarzlicht-Prüfung
Das bei Kanigen Works Benelux angewendete Vernickelungsverfahren ist Grade 2 kompatibel.
Weitere angewandte Normen: AMAT 0250-07726-027.
- Maschinenrahmen
- Vakuumkammern
- Leitsysteme
- Befestigungen usw.
