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Halbleiter

Kanigen Group ist bestrebt, seine peripheren Prozesse fortlaufend weiter zu entwickeln um den hohen Reinheitsanforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden. Heute sind wir qualifiziert durch ASML, Applied Materials ...

Unser Know-how ist von Systembauern für Halbleiter, 3D-Drucker, Rastermikroskope, Vakuumapplikatoren und deren Zulieferern anerkannt.

Unsere Lösungen

Korrosionsschutz

Antistatische Effekte

Amorphe Beschaffenheit

Reibungsreduzierung

Produktionsmittel

Im Jahr 2002 entwickelte die Kanigen Group, unter Berücksichtigung der Reinheitsanforderungen der Branche, eine Chemisch-Nickel-Speziallinie für das Beschichten von großformatigen ASML-Maschinenteilen (stepper wafer machines) aus Stahl. 

Diese Linie wurde 2019 um eine Vorbehandlungslinie für Aluminium und einen Grauraum für die Verpackung derartiger Teile erweitert.

     Badabmessungen:

  • Unlegierte Stähle: 3100 x 2200 x 2000 mm
  • Aluminium: 2600 x 2050 x 1000 mm
  • NiPef und Chemisch Schwarznickel: 600 x 600 x 1500 mm
Chemisch Nickel-Linie für ASML
Grauraum Verpackung der Teile

Grauraum

Kanigen Works BeNeLux verfügt über einen reinraumtauglichen Grauraum um Teile für den Halbleiterbereich zu verpacken.

Aufgrund seiner Ausstattung erfüllt er maximal die ASML-Vorgaben:

  • GSA 07 4320 – Grad 4 – Oberflächenreinheit
  • GSA 07 0011 – Durchstrahlungsprüfung
  • GSA 07 0012 – UV-A Schwarzlicht-Prüfung

Das bei Kanigen Works Benelux angewendete Vernickelungsverfahren ist Grade 2 kompatibel.

Weitere angewandte Normen: AMAT 0250-07726-027.

Anwendungen

  • Maschinenrahmen
  • Vakuumkammern
  • Leitsysteme
  • Befestigungen usw.

Galerie zur Oberflächenbehandlung durch chemische Vernickelung

Erhöhte Reinheitsanforderungen
Teile für die Halbleiterbranche
Bearbeitung großer Aluminiumteile
Grauraum reinraumkompatibel
Einhaltung der ASML-Standards
Technische Unterstützung
Schutz von Vakuumkammern
Komplexe Gebäudemodelle
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